Research Meeting “Frontiers of Room Temperature Bonding and Lasers” was held.
2023年07月28日
July 28, 2023 Research Meeting “Frontiers of Room Temperature Bonding
and Lasers” was held.
テーマ「常温接合とレーザーの最前線」
日時:令和5年(2023年)7月28日(金)
場所:分子科学研究所 研究棟201室
15:30-16:10, 平等拓範
「マイクロ固体フォトニクスの挑戦:常温接合による新たな展開」
16:10-16:30, 須賀唯知
「常温接合に関わる最近の活動:All-Cu 3D Interconnect, GCIBによるダイヤモンドの平坦化加工と接合など」
16:30-16:50, Wang Junshi:
「SABおよび親水化によるCuウエハ接合」
16:50-17:00, ディスカッション(TILA-LIC2024に向けて)
17:00-17:30, ラボツアー
注:聴講はオンライン限定